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產(chǎn)品中心材料樣品檢測(cè)微型真空探針冷臺(tái)KT-Z165M4RT微型真空探針熱臺(tái)
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微型真空探針熱臺(tái)KT-Z165M4RT精巧型真空腔體測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面最高可升溫到最高400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。
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微型真空探針熱臺(tái)KT-Z165M4RT精巧型真空腔體測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面最高可升溫到最高400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。
微型真空探針熱臺(tái)該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用高級(jí)真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針頂尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電學(xué)信號(hào)。
溫控器 | ||
加熱溫度 | 高溫型 室溫～350℃ | 低溫型 -50℃～50℃ |
注意：熱臺(tái)溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺(tái)面測(cè)量熱電阻值對(duì)應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。 | ||
溫控誤差 | ±1℃ | |
熱電偶類型 | PT100高精度傳感器 | |
溫控表 | 宇電PID溫控器 | |
程序控溫 | 1段（可選30段程序控溫表） | |
加熱功率 | ≤300W | |
加熱電源 | AC220v | |
尺寸 | 230x230x125MM | |
重量 | 6kg | |
真空探針熱臺(tái) | ||
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
加工方式 | 一體式CNC精加工 | |
內(nèi)腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積165ML | |
加熱臺(tái)尺寸 | Φ35mm | |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ45mm | |
觀察窗材質(zhì) | 高透光石英玻璃 | |
信號(hào)輸出頭 | SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培 | |
抽氣口 | KF16 | |
進(jìn)氣口 | 6MM卡套 | |
使用正壓 | ≤O.05MPa | |
使用負(fù)壓 | 機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa | |
可擴(kuò)展配件 | 氣體液體注射口、4芯電信號(hào)接頭、8芯電信號(hào)接頭 SMA905 光纖接口、擴(kuò)展5KV高壓電極、升級(jí)30段控溫儀表 | |
移動(dòng)探針 | ||
探針規(guī)格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm | |
上下移動(dòng)距離 | 2.5mm | |
前后移動(dòng)距離 | ±10mm | |
左右旋轉(zhuǎn)距離 | 120° | |
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